如图所示，温度传感器测量管道内气体的温度，另一个为速度传感器，电加热导高于温度传感测量得到的温度，并且保持温度差值恒定。当气体流动带走速度传感器上的热量时，为了保持温度差恒定，需要额外的电补偿加热，而这个补偿的电功率大小和气体质量流量成正比。

上式中：Qm为气体质量流量，K为仪表系数（恒定），△p为补偿的电功率大小（可以通过测量得到），Cp为定压比热容（由气体组分决定）；△t为两探头间的温度差（恒定）：S为管道截面积。基于上述原理，对于大管径的流量测量来说，虽然相应的大管径标定装置来对流量计进行标定，单只要在标准口径的标定装置上测定相应的质量流速，也就可以方便地测量大口径中流体的质量流量了。

两个传感器都是用性能稳定的金属铂材料，通过特殊工艺密封在316L不锈钢管或抗酸、碱腐蚀的特种材料管中制成，因此极为坚固，并不会污染被测流体或受被测流体污染，且其抗腐蚀性能很好。